高溫四探針測試儀

*高溫度  1650°c

測量范圍 0.1mΩ-100MΩ

溫度精度  ±0.25°c

*快測量 6.4ms

更多功能 高溫四探針、退火

高溫I-V特性測試

高溫真空測量

高溫氣氛測量

高溫燒結/退火

高溫四探針測量

消除電網諧波對采集精度的影響

高溫四探針測試儀采用直排四探針法設計原理測量。主要用于評估半導體薄膜和薄片的導電性能，參考美國 A.S.T.M 標準設計。重復性與穩定性更好，采用雙屏蔽高頻測試線纜，提高測試參數的**度，同時抗干擾能力更強。本設備也可應用于產品檢測以及新材料電學性能研究等用途。

      搭配Labview系統開發的Huacepro軟件，具備彈性的自定義功能，可進行介電溫譜、頻譜、升溫速度、測量參數等設置，符合功能材料測試多樣化的需求。電壓、過電流、超溫等異常情況以保證測試過程的**；資料保存機制，當遇到電腦異常瞬時斷電可將資料保存于控制器中，不丟失試驗數據，設備重新啟動后可恢復原有試驗數據。

      源測量儀器的精密耦合特點相對分立儀器具有許多優點。例如，它具有更短的測試時間，通過減少GPIB的流量并簡化了遠程編程接口。它還保護被測設備在偶爾過載、熱失控等情況下不被損壞。電流源和電壓源都可設置回讀使器件測量完整性*大化。如果回讀達到可編程容限的極限，那么該源就被鉗位在此極限，從而提供錯誤保護。

消除電網諧波對采集精度的影響

華測系列阻抗分析儀是華測儀器電子事業部采用當前***自動平衡電橋原理研制成功的新一代阻抗測試儀器，為國產阻抗測試儀器的*新高度。也徹底超越了國外同類儀器，在測量10Hz-50MHz的頻率瓶頸；解決了國外同類儀器只能分析、*********；采用單測和分析兩種界面，讓測試更簡單。得益于***自動平衡電橋技術，在10Hz-50MHz的頻率范圍可以保證0.05%的基本精度。 快達5ms的測試速度及高達50M的阻抗測試范圍可以滿足元件與材料的測量要求，特別有利于低損耗(D)電容器和高品質因數(Q)電感器的測量。四端對的端口配置方式可有效消除測試線電磁耦合的影響，將低阻抗測試能力的下限比常規端配置的儀器向下擴展了十倍。

消除不規則輸入的自動平均值功能  更強數據處理及內部屏蔽

華測近紅外高溫爐配合吉時利數字源表進行四探針電阻測量，讓測試更加穩定可靠，吉時利數字源表系列專用于要求緊密結合源和測量 的測試應用。全部數字源表型號都提供精密電壓源和電 流源以及測量功能。每款數字源表既是高度穩定的直流 電源也是真儀器級的6位半萬用表。此電源的特性包括 低噪聲、精密和回讀。此萬用表的功能包括可重復性高和低噪聲。*終形成了緊湊、單通道、直流參數測試儀。 在工作時，這些儀器能用作電壓源、電流源、電壓表、電流表和歐姆表。源和阱（4象限）工作，0.012%基礎測量精度（6位半分辨率）。 2線、4線電壓源和測量感測1700讀數/秒（4位半分辨率），通過GPIB通過/失效比較器用于快速提供高速感測線接觸檢查功能，在半導體、功能材料行業吉時利數字源表是適于特性析和生產測試等廣泛應用的重要源表。

專用高頻測試線纜，更適合高頻測量

測試引線使用4端子對配置以擴展測量端口，附帶BNC陽頭連接板，用于連接高溫爐的測試夾具，同時測試線采用高頻測試專用測試線，設計兩層屏蔽。更適合高頻介電參數測量。

儀器優勢：

1、它可以勻速、階梯（升\降溫）、循環沖擊，真空、氣氛等多種的加熱方式。

2、采用***移相觸發技術，完全可實現控制精度波動±0.25°c 以內，溫控精度更高。

3、加熱速度更快、更快，同時它可以提供了材料的更多的測試環境。

更加優異的加溫方式

目前國內高溫加熱大都為管式爐或馬弗爐，主要原理為加熱絲或硅碳棒對爐體加熱，加熱與降溫過程速度慢，效率低下。也無法實現溫度的高精度測量，加熱區域也存在不均勻的現象，華測儀器通過多年研究開發了一種可實現高精度，高反射率的拋物面與高質量的加熱源相配置，在高速加熱及高速冷卻時，具有良好的溫度分布。 可實現寬域均熱區，高速加熱、高速冷卻 ，用石英管保護加熱試樣，無氣氛污染。可在高真空，高純度氣體中加熱 。設備可組成均熱高速加熱爐，溫度斜率爐，階段加熱爐。

   它提高了加熱試驗能力。 同電阻爐和其他爐相比，紅外線反射爐節省了升溫時間和保持時間及自然冷卻到室溫所需時間，再試驗中也可改寫設定溫度值。從各方面講，都節省試驗時間并提高實驗速度。

同高頻爐相比，不需特殊的安裝條件及對加熱試樣的要求。同電阻爐一樣安裝簡單，有冷卻系統**可靠。以提高試驗人員的工作效率，實現***溫度控制操作！

高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統，增設氣體冷卻裝置，可實現快速冷卻。

1、高速加熱與冷卻方式

高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統，增設氣體冷卻裝置，可實現快速冷卻。

2、溫度高精度控制

近紅外鍍金聚焦爐和溫度控制器的組合使用，可以**控制樣品的溫度(遠比普通加溫方式)。此外，冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高精度。

3、不同環境下的加熱與冷卻

加熱/冷卻可用真空、氣氛環境、低溫（高純度惰性氣體 靜態或流動），操作簡單，使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。

更強的擴展能力，實現一機多用

█  多功能真空加熱 爐，可實現高溫、真空、氣氛環境下電學測試

█  采用鉑金材料作為測量導線、以減少信號衰減、提高測試精度

█  設備配置水冷裝置，降溫速度更快、效率更高

█  可實現高溫下四探針電阻譜等測量功能

█  進口溫度傳感器、PID自動溫度控制，使測量溫度更精準

█  近紅外加熱，樣品受熱更均勻，不存在感應電流，達到精準測量

█  10寸進口觸摸屏設計，一體化設計機械結構，更加穩定、可靠

█  采用進口高頻測試線，抗干擾能力更強，采集精度更高

█  99氧化鋁陶瓷絕緣，配和鉑金電極夾具

█  huace pro 強大的控制分析軟件與功能測試平臺系統相互兼容

設備測量參數

溫度范圍： RT-800 (*高1650)°C 控溫精度：±0.25°C     

升溫斜率：10°C/min（可設定）   測試范圍 :  0.1mΩ-100MΩ     

加熱方式：近紅外加熱     

冷卻方式：水冷     

輸入電壓：110~220V    

樣品尺寸：φ＜25mm，d＜4mm   電極材料：碳化鎢針

 夾具輔助材料：99氧化鋁陶瓷   測量方式：直接四探針

  測試功能：I-V、R-T等     

 數據傳輸：4個USB接口

 設備尺寸：600x500x350mm

動態測量范圍：電流：10pA to 10A

      電壓：1μV to 200V

四象限工作

0.012%的**度，5?的分辨率

可程控電流驅動和電壓測量鉗位的 6位線電阻測量   在4?數位時通過GPIB達1700讀數/秒

可選式接觸檢查功能

更強大的操作軟件

測試系統的軟件平臺 Huacepro ，采用labview系統開發，符合功能材料的各項測試需求，具備強大的穩定性與操作**性，并具備斷電資料的保存功能，圖像資料也可保存恢復。支持新的國際標準，兼容XP、win7、win10系統。

█ 多語介面：支持中文/英文 兩種語言界面；

█ 即時監控：系統測試狀態即時瀏覽，無須等待；

█ 圖例管理：通過軟件中的狀態圖示，一目了然，立即對狀態說明，了解測試狀態；

█ 使用權限：可設定使用者的權限，方便管理；

█ 故障狀態：軟件具有設備的故障報警功能。

█ 試驗報告：自定義報表格式，一鍵打印試驗報告，可導出EXCEL、PDF格式報表

軟件兼容：Keysight（ 2400、2450、2600、2650）等儀表。

強大的硬件配置

█ 集成Intel@Celeron 1037U 1.8GHZ雙核處理器

█ 集成打機印接口，*大可擴充8個USB接口

█ *大支持16G內存，60G固態硬盤，讓系統運行更加流暢