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產品詳情

  • 產品名稱：四探針電阻率/方塊電阻測試儀

  • 產品型號：CDEResMap
  • 產品廠商：其它品牌
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簡單介紹：
四探針電阻率又名方塊電阻測試儀，主要用于測量電阻率及方塊電阻（只測量非金屬薄膜，避免設備污染）。提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺。快速，jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作，雙針頭切換能使用可支持自動Loader，300mm 機臺可使用Front End，zui多擴充3個量測單元，支持Semi標準接口。
詳情介紹：

CDEResMap四探針電阻率/方塊電阻測試儀


一、四探針電阻率產品介紹

四探針電阻率又名方塊電阻測試儀，主要用于測量電阻率及方塊電阻（只測量非金屬薄膜，避免設備污染）。提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺。快速，jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作，雙針頭切換能使用可支持自動Loader，300mm 機臺可使用Front End，zui多擴充3個量測單元，支持Semi標準接口。


二、四探針電阻率技術參數

1薄膜電阻測量范圍: 10-5Ω.cm~105Ω.cm

2方塊電阻測量范圍:10-3Ω/□至106Ω/□

3晶片直徑: 50至200mm,可測量不規則硅片

4具有2D、3D Mapping的數據分析功能。

5具有測試數據自動導出功能。


三、四探針電阻率典型應用

1非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量；

2選擇性發射極擴散片；

3表面鈍化片；

4交叉指樣PN結擴散片；

5電極設計，如電鍍銅電阻測量等


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