產品詳情
簡單介紹:
烘箱適用范圍
烘箱主要用戶半導體光刻工藝中硅片表面改性;增加光刻膠對硅片的黏附性。
詳情介紹:
YES HMDS 烘箱
產品簡介
烘箱主要用戶半導體光刻工藝中硅片表面改性;增加光刻膠對硅片的黏附性。
技術參數
基片尺寸:支持2、3、4、6、8英寸基片及破片
溫度范圍:RT~160℃
溫度精度:+/-1℃@100℃
加熱時間:30min @RT~160℃