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產品詳情
  • 產品名稱:烘箱

  • 產品型號:YES HMDS
  • 產品廠商:其它品牌
  • 產品價格:0
  • 折扣價格:0
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簡單介紹:
烘箱適用范圍 烘箱主要用戶半導體光刻工藝中硅片表面改性;增加光刻膠對硅片的黏附性。
詳情介紹:

YES HMDS 烘箱

產品簡介

烘箱主要用戶半導體光刻工藝中硅片表面改性;增加光刻膠對硅片的黏附性。


技術參數

基片尺寸:支持2、3、4、6、8英寸基片及破片

溫度范圍:RT~160℃

溫度精度:+/-1℃@100℃

加熱時間:30min @RT~160℃

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