可測薄膜的導電與防靜電體積電阻率測試儀

     可測薄膜的導電與防靜電體積電阻率測試儀采用標準的四電極，可以測量測量20個數量級范圍的電阻率。

一、基本參數

二、技術參數

（1）測量范圍：10^-9Ω.m ～10¹¹Ω.m （*另配測試三電極和電源，可以測量體積電阻率達10¹⁹Ω.m）
（2）準確度：1%
（3）靜電電壓：100mV～±200V，輸入電阻≥10¹⁴Ω(100TΩ)，0.5%
（4）電流：1×10^-15A (飛安fA), 0.5%
（5）電壓源：0-100V
（6）測試屏蔽箱
     (注：不同的標準有不同的電極,請訂貨時請說明)。
（7）絕緣板：　≥100TΩ.m (10¹⁴Ω.m)

1.開機或測量前或測量完畢將開關撥到“ZERO”位置為防止意外的靜電對靜電計損壞，以保護靜電計免受靜電放電或其它過電壓而損壞或影響其測量性能，接輸入線或開機前一定要將開關撥到“ZERO”位置，此時機內通過一個10M的電阻接地，此時的靜電計成了一臺普通的±200VDC直流數字電壓表。

2.開啟電源，顯示器應發紅光，在無信號輸入或將輸入線兩端短路時調零如果顯示不為000，調整“ZERO ADJ.”使顯示為000,注意：應該在撥出輸入線無信號輸入時調零，否則調不到0 且會產生大的誤差。

3.將輸入測量電纜線與儀表輸入端連接好輸入線與要測量靜電電壓的物體相接，并確保在測量過程中電壓不超過±15  200VDC，以免損壞靜電計

4.如果顯示 1，就將量程開關撥到更高的量程。

5.測量完畢將開關撥到“ZERO”以保護靜電計在輸入短路時機內是通過一個10M電阻接好而不是真正的短接。這是為防止受靜電放電而損壞或影響其測量性能。

五、注意事項

1、開機測量前或測量完畢將開關撥到“ZERO”位置以保護儀器不受意外靜電放電面損壞

2.不允許測量超出該量程的電壓，在測量過程中確保輸入電壓不超過±200VDC，超出該量程時應換較大的量程有可能損壞靜電計。（雖然儀器有保護措施，但過電壓會使靜電計的性能下降）。超出范圍時顯示“1”。

3.應避免帶高電壓的物體及人體對輸入端接觸或放電靜電放電損壞儀表內高輸入阻抗的靜電放大器，極容易因靜電放電造成損壞，在測量過程中手或其它物體不能接觸輸入端以防靜電防電造成損失。

4.機內有危險的高壓，不要隨便打開儀器，以免電擊。

5.輸入電纜線應使用高絕緣聚乙烯屏蔽電纜線，否則會影響輸入阻抗。

6.在測量輸入阻抗極高的電壓源或測量微小電流時要屏蔽由于其輸入電阻極高且靈敏度很高，開機時若有機內或機外靜電的影響，可能會超量程而使顯示為＂1＂，遇此種情況，將輸入短路后，關電源30秒左右重新開機即可恢復到＂0＂，也可重復這一過程。