Huace-4簡易探針臺
華測系列探針臺可滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等，外形輕盈，操作方便，價格實惠；
特點/應用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等.
◆ zui大可用于6英寸以內樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結構，線性移動
◆ 可放置于手套箱內使用
◆ 形狀輕巧，操作方便，價格實惠
探針臺可根據客戶要求定制
設備規格
序號
尺寸
4英寸/6英寸
1
水平旋轉
可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
2
X-Y移動行程
2英寸*3英寸
3
X-Y移動精度
10微米
4
樣品臺Z軸調節
可升降10mm
5
樣品固定
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環
6
針座平臺
左右各一個針座平臺，zui多可放置6個探針座
7
背電極測試
樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極
8
外形尺寸
400mm長*380mm寬*500mm高
9
重量
約20千克
光學系統
1
顯微鏡類型
單筒顯微鏡/體式顯微鏡
2
放大倍率
16X-200X
3
移動行程
水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm
4
光源
外置LED無極調節亮度環形光源
5
CCD
200萬像素/500萬像素/1200萬像素
定位器
1
X-Y-Z移動行程
12mm*12mm*12mm
2
移動精度
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
3
吸附方式
磁力吸附/真空吸附
4
線纜
同軸線/三軸線
5
漏電精度
10pA/100fA/10fA
6
固定探針
彈簧固定/管狀固定
7
接頭類型
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
8
針尖直徑
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
9
針尖材質
鎢鋼/鈹銅
可選附件
1
加熱臺
2
顯示器
3
轉接頭
4
射頻測試配件
5
屏蔽箱
6
光學平臺
7
鍍金卡盤
8
光電測試配件
